渦輪分子泵區(qū)別于牽引分子泵,它是以高速旋轉(zhuǎn)的動葉片與靜止的靜葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的:
如上圖所示,渦輪分子泵由多級葉列組成,轉(zhuǎn)子與定子按次序交替排列。葉列的級數(shù)與壓縮比有關(guān);葉片的形狀會同時影響抽速與壓縮比,入口抽速大壓縮比小,接近出口則相反。分子泵工作時吸入壓力大多在1Pa以下,此時分子流狀態(tài)下,分子間的平均自由行程大,與高速旋轉(zhuǎn)的葉片之間的碰撞幾率遠高于分子之間的碰撞。因此高速旋轉(zhuǎn)的葉片會使氣體在外摩擦作用下,形成定向運動流向出口,產(chǎn)生抽氣效果,轉(zhuǎn)速越高,對抽速越有利。
隨著軸承技術(shù)、數(shù)控技術(shù)的發(fā)展,空氣軸承、磁懸浮軸承等的應(yīng)用,渦輪分子泵很好地解決了油污染的問題,目前工作范圍可以從1Pa到10^-9Pa,抽速則從50L/S發(fā)展到了25000L/S,甚至到達了40000L/S。
與牽引分子泵相比,渦輪分子泵在分子流狀態(tài)下抽速優(yōu)勢明細,但同時它在過渡流及黏滯流狀態(tài)下抽速會很小,對前級泵的要求較高。而牽引分子泵的壓縮比與抽氣槽形有關(guān),提升簡單,因此就出現(xiàn)了結(jié)合兩種分子泵有點的復合分子泵。干式螺桿真空泵廠家在下一篇中繼續(xù)為大家介紹。